[1] Technik : Fahrzeugtechnik, Hydraulik, Industrietechnik
Die Mikrosystemtechnik, selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.
Wort | Synonyme |
Mikrosystemtechnik | Mikrosystemtechnologie |