Ein Elektronenstrahlverdampfer ist ein Gerät zum Verdampfen von Feststoffen. Der Elektronenstrahlverdampfer gehört zu den thermischen Verdampfern. Die Verdampfungsenergie wird mittels einer Elektronenkanone in einen Tiegel mit dem Verdampfergut gebracht. Für kleine Proben haben sich sogenannte Mini-Elektronenstrahlverdampfer durchgesetzt, bei denen der Elektronenstrahl direkt auf einen zu verdampfenden Stab (Ø2–6 mm) oder in einen Tiegel geleitet wird. Gerade die Stab-Verdampfung hat vielfältige Vorteile wie: höchst reine Schichten, keine Legierungsprobleme mit Tiegel, Bedampfung von allen Richtungen etc.