[1] Chemische Verbindung: Trimethylsilan oder Trimethylsilylhydrid ist ein Gas bei Umgebungsbedingungen mit der Formel C₃H₁₀Si. Es ist sehr brennbar. Trimethylsilan wird in der Halbleiterindustrie als Vorläufer für die Abscheidung von Dielektrika und Barriereschichten durch plasma
Trimethylsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der siliciumorganischen Verbindungen.